µ¶¸³¿îµ¿°¡ ¾öÁÖ½Å

Ä¿¹Â´ÏƼ

ÀÚÀ¯°Ô½ÃÆÇ

[õÀÚÄ®·³] µ¶ÀÏ ÀÚÀ̽ºÀÇ Èû

  • °ü¸®ÀÚ
  • 24.05.01
  • 15,245

ÀÌÇؼº ±âÀÚ

 

2Â÷ ¼¼°è´ëÀüÀ» ÀÏÀ¸Å² µ¶ÀÏÀÌ Ç׺¹Çϱâ Àü ¹Ì±¹°ú ¼Ò·ÃÀÌ Ä¡¿­ÇÏ°Ô Àü°³ÇÑ ºñ°ø½Ä ÀÛÀüÀÌ ÀÖ´Ù. µ¶ÀÏ °úÇÐÀÚ »© °¡±â´Ù. ¹Ì±¹Àº 1945³â 4¿ù µ¶ÀÏ ¿¹³ª·Î ¸ô·¡ ÁøÀÔÇØ ¾î¶² ±â¾÷ÀÇ ¸·´ëÇÑ Æ¯Çã¿Í ¼³°è ¹®¼­¸¦ ÀÔ¼öÇß´Ù. µ¶ÀÏ ºÐÇÒ ÅëÄ¡¸¦ °ñÀÚ·Î ÇÑ ¾âŸ ÇùÁ¤¿¡ µû¶ó °°Àº ÇØ 7¿ù ¿¹³ª°¡ ¼Ò·Ã±º ÁÖµÐÁö·Î ÆíÀԵDZâ Àü ¼±¼ö¸¦ Ä£ °ÍÀÌ´Ù. ¹Ì±¹Àº ÀÌ ±â¾÷¿¡¼­ ÀÏÇÏ´ø 120¿© ¸íÀÇ ¿£Áö´Ï¾î, ¼÷·ÃµÈ ÀåÀÎ µîÀ» ÀÚ±¹ Á¡·ÉÁöÀÎ ½´ÅõÆ®°¡¸£Æ® ÇÏÀ̵§ÇÏÀÓÀ¸·Î À̼ÛÇß´Ù. ±¤ÇÐ ±â¼ú ¼¼°è 1À§ ±â¾÷ ÀÚÀ̽º(ZEISS) ¾ê±â´Ù.


 [õÀÚÄ®·³] µ¶ÀÏ ÀÚÀ̽ºÀÇ Èû

¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î¸¦ »õ±â´Â ±ØÀڿܼ±(EUV) ³ë±¤Àåºñ´Â ¡®µÎ °³ÀÇ ½ÉÀ塯À¸·Î µÅ ÀÖ´Ù. EUV¸¦ ³»»Õ´Â Á¶¸í±¤Çаè¿Í EUV °æ·Î¸¦ ¸¸µå´Â Åõ¿µ±¤Çаè´Ù. ÀÌ µÎ ±¤ÇÐ°è ºÎÇ° ¼ö´Â 3¸¸5000¿© °³¿¡ ´ÞÇÑ´Ù. ÀÚÀ̽º´Â EUV ³ë±¤Àåºñ¸¦ ¼¼°è¿¡¼­ À¯ÀÏÇÏ°Ô »ý»êÇØ ³×´ú¶õµå ASML¿¡ °ø±ÞÇÑ´Ù. ASMLÀº ¿©±â¿¡ ÀÚ½ÅÀÇ ±â¼ú·ÂÀ» ´õÇØ »ï¼ºÀüÀÚ, TSMC µî¿¡ ÆǸÅÇÑ´Ù. ÀÚÀ̽º°¡ ¹ÝµµÃ¼ ½ÃÀå °¡Ä¡»ç½½ÀÇ ¿ø·ù¶õ ¾ê±â´Ù. ÀÌÀç¿ë »ï¼ºÀüÀÚ È¸ÀåÀÌ Áö³­ 26ÀÏ µ¶ÀÏ ÀÚÀ̽º º»»ç¸¦ ¹æ¹®ÇÑ ÀÌÀ¯´Ù.

 

ÀÚÀ̽º´Â 1846³â ¼³¸³µÆ´Ù. 1816³âºÎÅÍ Çö¹Ì°æ °ø¹æÀ» ¿î¿µÇÏ´ø Ä«¸¦ ÀÚÀ̽º¿Í ¼öÇÐÀÚÀÎ ¿¡¸¥½ºÆ® ¾Æº£ ¿¹³ª´ë ±³¼ö°¡ ÀDZâÅõÇÕÇØ ±â¾÷À» ¼¼¿ì°í Å°¿ü´Ù. ÀÚÀ̽º°¡ ¡®¼öÇÐÀû È®½Ç¼º¡¯À¸·Î Çö¹Ì°æ ¼º´ÉÀ» ÃÖ°í·Î ¹ßÀü½Ãų ¼ö ÀÖ´Â Àü¹®°¡¸¦ ¹é¹æÀ¸·Î ã´Ù°¡ ¼­·Î ¿¬ÀÌ ´ê¾Ò´Ù°í ÇÑ´Ù. ¾Æº£´Â 1869³â ±¤ÇÐÇö¹Ì°æÀÇ ¿ø¸®°¡ µÇ´Â ¼öÇÐ °ø½ÄÀ» ¼¼°è¿¡¼­ óÀ½ °í¾ÈÇß´Ù. °ø½Ä ³»¿ëÀº ¡®ºöÀÇ ÆÄÀåÀÌ ÀÛ¾ÆÁ® Áý±¤·ÂÀÌ ³ô¾ÆÁö¸é ·»Áî Çػ󵵰¡ ¿Ã¶ó°£´Ù¡¯ÀÌ´Ù. ½º¸¶Æ®Æù ³» ¹ÝµµÃ¼ ȸ·Î ¼±ÆøÀÌ ³ª³ë¹ÌÅÍ(§¬)±îÁö °¥ ¼ö ÀÖ¾ú´ø ±â¼úÀÇ Ãâ¹ßÁ¡ÀÌ ¹Ù·Î ÀÌ °ø½ÄÀÌ´Ù.

 

ÀÚÀ̽º´Â ÁÖ Á¤ºÎ°¡ ¼ÒÀ¯ÇÏ´Â °øÀÍÀç´Ü »êÇÏ À¯ÇÑȸ»ç´Ù. Á¤°ü¿¡ ÁÖ½Ä Àüü¸¦ Àç´Ü¿¡ ±Í¼ÓÇÏ°í ¿ÜºÎÀΰú °Å·¡ÇÏÁö ¸ø ÇÏ°Ô ÇØ ³ù´Ù. ÀÌ ¿øÄ¢Àº ⸳ ÀÌÈÄ º¯ÇÔÀÌ ¾ø´Ù. ¹Ì±¹ÀÌ ÀüÀï Åë¿¡¼­µµ Ž³»´ø 200³â ±â¾÷ÀÇ ¶Ò½ÉÀÌ´Ù. ÀÌ ¶Ò½ÉÀÌ »ï¼ºÀüÀÚ°¡ °¡Àå Àý½ÇÈ÷ ¿øÇÏ´Â Àåºñ¿¡ ½ÉÀåÀ» ´Ü ¿øµ¿·ÂÀÌ µÆÀ» ÅÍ´Ù.


Ãâó: Çѱ¹°æÁ¦(2024.04.30.) Áö¸éA31

 

°Ô½ÃÆÇ ¸ñ·Ï
±³È¸ ¹× ÁßÁ÷ÀÚ°¡ ±¸ºñÇØ¾ß ÇÒ ±³È¸¹ý Ã¥
ÃÊ¿ù¼±±³È¸¶õ?
ĪÂù¹Þ´Â Àå·Î - ¾öµ¿±Ô Àå·Î
¾öÇÏ°í ¹«¼­¿î »ç¶÷(¾öÁֽŠÀå·Î) - ÀÓÁ¾¸¸ ¸ñ»ç(°í½Å Áõ°æÃÑȸÀå)
»ç¶ûÇÏ°í Á¸°æÇÏ´Â ³ªÀÇ ¾Æ¹öÁö ¾öÁֽŠÀå·Î - ¾ö¹¦¼ø ±Ç»ç
3ÓÛ Àå·Î¸¦ ¹èÃâÇÑ °¡¹®(Ê«Ú¦)
[õÀÚÄ®·³] ¿Ü±¹ ÀÇ»ç ¼öÀÔ
[ðÈàØÄ®·³] ãæ³ÃÀü ¼¼°è È°º¸ÇÏ´Â ÀϺ»°ú ¿ì¹° ¾ÈÀÇ Çѱ¹
ìí ¡®³×À̹ö ÃàÃ⡯ º»°ÝÈ­¡¦ ¿ì¸® Á¤ºÎ´Â µÞÁü¸¸ Áö°í ÀÖ³ª[Ⱦ¼³¼ö¼³/Á¤ÀÓ¼ö]
[±ú¾ËÁö½ÄQ] ¡®¾ÆÆĸ£Æ®ÇìÀÌÆ®¡¯´Â ¾ÆÇÁ¸®Ä­½ºåÞ¡¦ ¾î¶² ¾ð¾î?
[¸¸¹°»ó] źµ¹ÀÌ, ÄÚµ¹ÀÌ, Æĵ¹ÀÌ
ºÎÀÎ ¿¬ÁÙ ºñ¼­°ü¡¤ÇàÁ¤°ü ¡®¿ë»ê¡¯ ¹ÛÀ¸·Î ³»º¸³»¾ß [°­Ãµ¼® Ä®·³]
[õÀÚÄ®·³] º¸À×ÀÇ ±¼¿å
[Åä¿äÄ®·³] ¿Ü°èÀÎÀº ¾î´À ÀºÇÏÀÇ Ç༺¿¡ ÀÖÀ»±î
[Ⱦ¼³¼ö¼³/½Å±¤¿µ]¡®»´ ¸Â¾Æµµ ´Ù½Ã¡¯ ¸¶Å©·ÕÀÇ °¢º» ¾ø´Â ¼ÒÅë
[µ¿¾Æ±¤Àå/¼ÛÀÎÈ£]û³â¿¡°Ô ºÒ¸®ÇÑ ÁÖÅÃû¾à Àç¼³°èÇÏÀÚ
[ÀÌÁøÇÑÀÇ ¸ÞµðÄø®Æ÷Æ®]¿©¼º°Ç°­Àdz¯, ¼Ò¿ÜµÇ´Â ÁßÁõÁúȯ µÇµ¹¾ÆºÁ¾ß
³¿»õ¿Í Çâ±â[ÇѼº¿ì ±³¼öÀÇ ¸ÀÀÇ ¸», ¸»ÀÇ ¸À]
°Ô½Ã¹° °Ë»ö